Les platines de scanner de nanopositionnement SMARFLEX utilisent les avantages des flexions mécaniques piézoélectriques pour réaliser des tâches de positionnement très précises jusqu'à plusieurs centaines de μm.
Le PLF5252-x.200 offre une plage de balayage de plus de 200 μm dans la direction X. D'un poids de 90 g, il est très léger et également assez compact avec ses 52 x 52 x 15 mm.
Caractéristiques techniques
Plage de balayage [µm] - > 200
Force normale max. Force normale [N] - 5,0
Dimensions [mm] - 52 x 52 x 15
Poids [g] - 90
Matériau
Matériau de base - Titane (-TI) / Base en aluminium (-Al)
- Boucle ouverte
Résolution en boucle ouverte MCS2 [nm] - MCS2 : <1
- Boucle fermée
Résolution du capteur MCS2 [nm] - MCS2 : 1 (S)
- Options de vide
Options de vide - HV (10-⁶mbar)
Option amagnétique - Oui (- NM)
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