Les platines de scanner de nanopositionnement SMARFLEX utilisent les avantages des flexions mécaniques piézoélectriques pour réaliser des tâches de positionnement très précises jusqu'à plusieurs centaines de μm.
Le PLF3232-z.60 offre une plage de balayage de plus de 60 μm dans la direction Z. D'un poids de 30 g, il est très léger et également très compact avec ses 32 x 32 x 15 mm.
Caractéristiques techniques
Plage de balayage [µm] - > 60
Force normale max. Force normale [N] - 5,0
Dimensions [mm] - 32 x 32 x 15
Poids [g] - 30
Matériau
Matériau de base - Titane (-TI) / Base en aluminium (-Al)
Boucle ouverte
Résolution en boucle ouverte MCS2 [nm] - MCS2 : <1
- Boucle fermée
Résolution du capteur MCS2 [nm] - MCS2 : 1 (S)
- Options de vide
Options de vide - HV (10-⁶mbar)
Option amagnétique - Oui (- NM)
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