Système de nano-positionnement multi-axe SMARPOD P-CLL-CLS

hexapodelinéairerotatif

Le SMARPOD de grande taille utilise trois chariots de la série CLL qui offrent une plage de déplacement extrêmement large de 330 mm dans la direction X. Le SMARPOD P-CLL-CLS utilise des positionneurs CLS pour le mouvement dans la direction Y et une platine CLL dans la direction X. Grâce à cette combinaison spécifique de différents étages linéaires, le P-CLL-CLS offre une plage de déplacement extrêmement large dans la direction X, jusqu'à 1200 mm sur demande, tout en conservant un faible encombrement dans la direction Y. Le SMARPOD P-CLL-CLS est entièrement équipé d'unités d'entraînement interchangeables (EDU) garantissant un remplacement facile et rapide de l'entraînement piézoélectrique sans qu'il soit nécessaire de démonter entièrement le système de positionnement. Les valeurs de la course de rotation sont données pour un point de pivot à la surface de la plaque supérieure. Les dimensions globales du système complet peuvent être plus importantes pour différentes poses. Pour plus d'informations, voir le modèle CAO dans la zone de téléchargement. La répétabilité est mesurée à environ 20 mm au-dessus de la plaque supérieure de chaque système, sur toute la plage de déplacement et pour un seul degré de liberté à la fois. Les valeurs peuvent être meilleures pour des courses plus courtes. Caractéristiques techniques Course [ - 32 (Θx) ; 34 (Θy) ; 30 (Θz) Force normale max. Force normale [N] - 4 Force horizontale max. Force horizontale [N] - 2 Dimensions de la plaque de base [mm] - 554 x 45 Hauteur de la plate-forme au-dessus du sol [mm] - 72 Poids [g] - 2950 Boucle fermée Types de capteurs - SC Plus petit incrément [nm] - 1 Plus petit incrément [µ - 3 Options de vide - HV (1E-6 mbar) Options de vide - HV (1E-6 mbar) ; UHV (1E-11 mbar)