Système de nano-positionnement multi-axe SMARPOD P-SLC-17

hexapodeavec cinématique parallèlesous haut vide

Un SMARPOD de taille moyenne basé sur des étages SLC-17 en orientation parallèle, capable de positionner des charges utiles jusqu'à 5 N. Le SMARPOD P-SLC-17 est basé sur une conception mécanique différente en ce qui concerne l'orientation des étages montés horizontalement. Par rapport à un SMARPOD circulaire de taille presque identique, le P-SLC-17 offre une plage de déplacement beaucoup plus grande, sans l'ouverture disponible dans les modèles circulaires. Basé sur les platines de la série SLC-17, le SMARPOD P-SLC-17 est également disponible dans une version pour le vide poussé et l'ultra-vide, ainsi que dans une version fabriquée à partir de matériaux entièrement non magnétiques. Mécanique Course [mm] - 48 (X) ; 28 ... 48 (Y) ; ≤ 9 (Z) Course [ - ≤ 28 (Θx) ; ≤ 26 (Θy) ; ≤ 20 (Θz) Max. Force normale [N] - 5 Max. Force horizontale [N] - 2,5 Dimensions [mm] - 110 x 80 Hauteur de la plate-forme au-dessus du sol [mm] - 67,5 Poids [g] - 300 ... 2000 Boucle fermée Types de capteurs - S ; SC Plus petit incrément [nm] - 1 Plus petit incrément [µrad] - 1 Répétabilité en boucle fermée, course complète MCS2 [nm] - < ± 200 Répétabilité en boucle fermée, course de 1 mm MCS2 [nm] - < ± 10 Répétabilité en boucle fermée, course complète MCS2 [µrad] - < ± 15 Options Options de vide - HV (1E-6 mbar) ; UHV / UHVT (1E-11 mbar) Option non-magnétique - Oui (-NM)