Station de mesures sous pointes automatique DX1PS3

sous videmagnétique

Présentation

La station de sondage DX1PS3 au niveau wafer pour champ magnétique dans le plan est conçue pour la caractérisation électrique et magnétique des matériaux semi‑conducteurs, des dispositifs micro‑nano et des dispositifs spintroniques. Elle délivre un champ magnétique unidimensionnel dans le plan jusqu'à 330 mT (à 10 mm d'écart d'air) et prend en charge des mesures électriques DC/RF haute précision.

Introduction des paramètres

• Modèle : DX1PS3
• Direction du champ magnétique : dans le plan (X)
• Intensité du champ magnétique : ≥ 330 mT @ 10 mm écart d'air
• Écart d'air réglable : Non
• Taille d'échantillon : wafer 12 pouces (compatible rétroactivement avec 8" et 6")
• Type et nombre de sondes : sondes DC (jeu de 4) ou sondes micro‑ondes (jeu de 4)
• Plateau échantillon : déplacement XY commande électrique ±150 mm, précision 2 μm ; axe T manuel ±5°, précision minimale 5′
• Type de microscope : monoculaire

Description du produit

• Test de champ magnétique dans le plan avec structure modulaire (magnét échangeable) ; uniformité du champ ±1% @ 1 mm.
• Surveillance et rétroaction du champ en temps réel avec précision <1% et résolution <0.02 mT.
• Prend en charge wafers jusqu'à 12 pouces et compatible avec échantillons 8" et 6".
• Accepte jusqu'à 4 jeux de sondes (RF ou DC) et dispose d'une plateforme de sondes en Z à levée rapide pour optimiser le débit de tests.
• Conception prête pour intégration incluant sonde Hall, gaussmètre et support de réglage du microscope.

Configuration spécifique (résumé)

• Ensemble principal : station DX1PS3 wafer level pour champ magnétique dans le plan
• Électroaimant unidimensionnel in‑plane (1 pc) : direction X, ≥330 mT @ 10 mm écart d'air, zone uniforme ±1% @ 1 mm, résolution 0.02 mT
• Alimentation / source de courant 400 W (1 pc) : sortie bipolaire continue, fonctionnement en quatre quadrants, vitesse de variation configurables (0.00001 à 0.5 F.S./s, F.S.=5 A), alimentation AC monophasée 220 V ±10%
• Support d'échantillon (1 pc) : course X/Y ±150 mm, résolution 2 μm ; axe T manuel ±5° (sensibilité ≈5′) ; diamètre du porte‑échantillon 10 pouces, adsorption par vide
• Support de sonde / fixture (4 pcs) : base à commutation par vide ; course fine XY ±6 mm ; résolution d'ajustement ±1 μm ; inclinaison 30° ; inclut sondes DC (jeu type 4), fuite ≤10 pA, courant max 1 A, tenue 700 V, fréquence max 1 MHz ; câbles coaxiaux ≥1.5 m, connecteurs BNC mâle
• Contrôle PC (1 pc) : Intel i5, 16 GB RAM, 256 GB SSD + 512 GB HDD, écran 23.8"
• Pompe à vide sans huile (1 pc) : fonctionnement 24 h, débit ≥ 7 L/min
• Microscope monoculaire (1 pc) : illumination coaxiale, distance de travail ≥ 80 mm ; caméra 5 MP, 30 fps, USB2.0 ; grossissement 0.75X–5X, zoom continu
• Table à lévitation d'air (1 pc) : dimension ≥ 800 × 1200 mm ; comprend compresseur
• Intégration de la structure : canaux de vide dissimulés, dispositif Z manuel résolution 10 μm, pas de dérive sous champ magnétique maximal
• Refroidisseur (1 pc) : 5–35 °C, 1200 W @ 25 °C, réservoir 10 L, contrôle ±1 °C

Interface de test

• Interface dédiée pour mesures de magnétorésistance (schéma fourni sur la page produit)

Caractéristiques techniques

• Modèle : DX1PS3
• Direction du champ : dans le plan (X)
• Intensité du champ : ≥ 330 mT @ 10 mm écart d'air
• Uniformité du champ : ±1% @ 1 mm
• Surveillance du champ : précision <1% ; résolution <0.02 mT
• Compatibilité échantillons : wafer 12" (compatible 8" et 6")
• Course XY (plateau) : ±150 mm, précision 2 μm
• Axe T : manuel ±5°, précision minimale 5′
• Capacité sondes : jusqu'à 4 jeux (RF ou DC) ; jeu type : 4 sondes
• Résolution support de sonde : ±1 μm ; course fine XY ±6 mm
• Alimentation/source : 400 W, sortie bipolaire quatre quadrants, courant max 5 A
• Plateforme Z : manuelle (évolutive vers motorisée)
• Microscope : monoculaire, distance de travail ≥ 80 mm, caméra 5 MP, 30 fps, zoom 0.75X–5X
• Pompe à vide : sans huile, fonctionnement continu, débit ≥ 7 L/min
• Table à lévitation d'air : ≥ 800 × 1200 mm
• Refroidisseur : 5–35 °C, 1200 W @ 25 °C, réservoir 10 L, ±1 °C
• PC de contrôle : Intel i5, 16 GB RAM, 256 GB SSD + 512 GB HDD, écran 23.8"