Station de mesures sous pointes magnétique DX1PS3

manuelle

La station de sondage wafer pour champ magnétique dans le plan est une plateforme d'essais à l'échelle du wafer conçue pour appliquer des champs magnétiques contrôlés dans le plan et permettre la caractérisation électrique au niveau du wafer. Elle offre une surveillance du champ magnétique en temps réel et une plateforme de sondage polyvalente pour les mesures DC et RF.

Caractéristiques principales

• Applique des champs magnétiques contrôlés dans le plan pour le sondage à l'échelle wafer avec une conception structurelle universelle (aimant non inclus).
• Surveillance et rétroaction du champ magnétique en temps réel pour des conditions de mesure stables.
• Prend en charge plusieurs types de sondes (DC et micro-ondes) et une plateforme de levage rapide en axe Z pour améliorer l'efficacité des essais.
• Conçue pour la compatibilité avec les flux de travail de tests wafer et plusieurs jeux de sondes pour des mesures flexibles.

Caractéristiques / spécifications techniques

• Modèle : DX1PS3
• Direction du champ magnétique : Dans le plan
• Intensité du champ magnétique : Champ dans le plan >330 mT
• Écart d'air réglable : Non
• Taille de l'échantillon : Wafer 12 pouces (compatible en rétrogradation avec test de fragmentation)
• Type et quantité de sondes : Sondes DC (jeu de 4) ou sondes micro-ondes (jeu de 4)
• Paramètres de la platine : Déplacement XY motorisé ±150 mm, précision d'ajustement 2 μm ; réglage manuel de l'axe T ±5°, précision minimale d'ajustement 5°
• Type de microscope : Microscope monoculaire
• Uniformité du champ magnétique : ±1% @ φ1 mm (conception structurelle polyvalente, aimant non inclus)
• Surveillance du champ magnétique : En temps réel avec précision de surveillance <1% et résolution de champ <0.02 mT
• Compatibilité : Accueille des wafers jusqu'à 12 pouces et est rétrocompatible avec des puces 8 pouces et 6 pouces
• Plateforme de sondes : Plateforme de sondes en axe Z avec fonction de levage rapide (manuel par défaut ; possibilité de mise à niveau en commande électrique)