Système de manutention télécommandé NWL200

automatisécontrôlable par PCcommandé électroniquement

Présentation
La famille de chargeurs NWL200 assure le transfert automatisé et la manipulation des wafers de 6" (150 mm) et 8" (200 mm), avec option pour wafers ultra‑minces jusqu'à 100 µm. Conçue pour une intégration aux microscopes optiques et systèmes de mesure vidéo, la série vise un haut débit et une manipulation sûre en lignes d'inspection de production.

Compatibilité et capacités générales

• Prend en charge les diamètres 6" (150 mm) et 8" (200 mm).
• S'intègre aux microscopes Nikon Eclipse L200N, LV150N et aux systèmes NEXIV VMZ‑S.
• Gestion standard des épaisseurs 300 µm et 200 µm ; chuck optionnel pour 100 µm ultra‑minces.

Principales capacités et manutention

• Système multi‑bras pour chargement/déchargement rapide et précis.
• Élévateur de cassette rapide avec centrage sans contact pour un alignement précis.
• Support d'inspection macro : motifs face avant, périmètre arrière et zone centrale.
• Vitesse de rotation et angle d'inclinaison programmables (auto/manu) pour divers besoins d'inspection.
• Le mandrin à vide du bras macro reste actif en cas de coupure d'alimentation pour permettre le retrait sécurisé des wafers.

Conception salle blanche et anti‑contamination
Un flux d'air continu dans les zones de serrage et de centrage limite la génération de particules. Le couvercle en acier inoxydable réduit l'accumulation électrostatique, conforme aux exigences de salle blanche.

Sécurité et détection des wafers

• Faisceaux capteurs et détection de wafers déformés empêchent la collecte en cas de risque de collision.
• Logique d'évitement des collisions réduisant le risque d'endommagement lors des transferts.

Ergonomie et facilité d'utilisation

• Interface frontale orientée opérateur : sélection d'une plaquette par bouton unique, grand écran LCD et menu structuré pour la gestion des recettes.
• Position de chargement et échange de cassette inclinés à 35° vers la gauche pour un accès ergonomique et un gain de temps opérateur.

Opération distante et support

• L'outil Remote Access Web Server permet la connexion LAN via un navigateur pour créer, modifier et sauvegarder les recettes d'inspection.
• L'écriture et la sauvegarde de recettes à distance contribuent à la continuité des inspections et à l'optimisation du débit.

Caractéristiques techniques

• Diamètres pris en charge : 6" (150 mm) et 8" (200 mm).
• Épaisseurs prises en charge : standard 300 µm et 200 µm ; chuck optionnel 100 µm.
• Systèmes compatibles : Nikon Eclipse L200N, LV150N ; NEXIV VMZ‑S.
• Chargement/déchargement : transfert multi‑bras, élévateur de cassette rapide, centrage sans contact.
• Modes d'inspection : motifs face avant, périmètre arrière, zone centrale ; rotation et inclinaison réglables (auto/manu).
• Contrôle de contamination : flux d'air continu ; couvercle inox pour réduction de la charge électrostatique.
• Sécurité : détection des wafers pour éviter les collisions ; mandrin à vide actif en cas de perte d'alimentation.
• Interface opérateur : sélection par bouton, grand LCD, gestion de recettes ; accès web distant pour gestion et sauvegarde des recettes.