Machines d'inspection optiques KLA
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... recettes d'inspection, et la liaison DualSENS™ entre l'inspecteur optique 3935 et les systèmes de revue e-beam pour une sensibilité accrue aux défauts sur les couches à faible contraste. Le 3920 EP comprend plusieurs ...
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... clusters modulaires et inspection intégrée avec métrologie 3 D pour contrôle face avant/arrière/bord et collecte parallèle de données.
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... de l'industrie (militaire, aérospatiale, médicale). Les inspecteurs C30x tirent parti d'une source d'éclairage à large bande accordable, d'une optique avancée et d'un ...
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... dispositifs logiques avancés 1Xnm et de dispositifs de mémoire DRAM et NAND 3 D avancés. Le Puma 9980, qui fait partie d'un portefeuille d'outils avancés d'inspection et d'examen ...
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... comprennent : l' inspection des défauts de la face avant de la plaquette ; l' inspection, le profil, la métrologie et l'examen des défauts du bord de la plaquette ; l' inspection et l'examen des défauts ...
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... , de substrats et d'équipements à des nœuds de conception inférieurs à 1Xnm. Système d'inspection de la surface des plaquettes sans motif avec sensibilité DUV et haut débit pour la fabrication de circuits intégrés, de ...
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... arêtes de biseau, analyse de la composition par rayons X à dispersion d' énergie (EDX) Le système d'examen et de classification des défauts des plaquettes de silicium par faisceau d'électrons ...
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... un retour d'information précis sur l'erreur de superposition sur le produit pour des rampes technologiques rapides et une production stable de mémoires et de dispositifs logiques de pointe. L'accordabilité et l'optimisation de la longueur ...
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... le phosphure d'indium (InP), le tantalate de lithium, le niobate de lithium, le verre, le saphir et d'autres matériaux semi-conducteurs composés. Ce système d'inspection des défauts de surface utilise ...
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machine d'inspection optiqueCandela® 8520
... la classification d'une large gamme de défauts d'intérêt (DOI). Ce système utilise une technologie optique exclusive pour mesurer simultanément l'intensité de la diffusion à deux angles d'incidence. ...
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