Machine d'inspection optique C30x

pour wafer gravépour l'industrie électroniquede défauts

Les inspecteurs de défauts optiques à plasma à large bande de la série C30x permettent la découverte systématique des défauts et la détection des défauts de fiabilité latents pour la fabrication de puces destinées aux marchés de l'automobile, de l'IdO, de la 5G, de l'électronique grand public et de l'industrie (militaire, aérospatiale, médicale). Les inspecteurs C30x tirent parti d'une source d'éclairage à large bande accordable, d'une optique avancée et d'un capteur à faible bruit pour capturer les défauts critiques sur une gamme de couches de processus et de types de dispositifs. La technologie NanoPoint™ concentre l'inspection sur les zones de motifs à haut risque de défaillance de fiabilité, fournissant des données de défauts exploitables qui aident à réduire l'underkill et l'overkill des matrices. Grâce à la découverte de défauts systématiques, les inspecteurs C30x contribuent à accélérer la caractérisation et l'optimisation de nouveaux processus, nœuds de conception et dispositifs au cours de la R&D. En production, la sensibilité élevée des systèmes C30x à la vitesse d'inspection optique permet une surveillance en ligne des couches de processus critiques, ce qui aide les usines à éviter les excursions de défauts qui affectent la qualité finale des puces. Les inspecteurs C30x sont construits sur une plate-forme extensible et configurable, prenant en charge les tailles de plaquettes de 200 mm et 300 mm. Les inspecteurs à plasma à large bande C30x intègrent les technologies suivantes : Source d'illumination plasma à large bande Avec une source de lumière DUV/UV/visible à haute luminosité, les inspecteurs de la série C30x atteignent un signal accru pour les défauts critiques. Bandes de longueur d'onde accordables De nombreuses bandes de longueur d'onde offrent la flexibilité opérationnelle nécessaire pour obtenir un contraste optimal pour différentes couches de processus et différents types de dispositifs. Pixels multiples Le C30x comprend des pixels de petite taille, ce qui permet de détecter les défauts minuscules et critiques qui affectent le rendement et la fiabilité des dispositifs. Capteur à haut débit de données