Plaque en céramique

en anneaude nitrure de bored'isolation

Le nitrure de bore hexagonal pressé à chaud est souvent appelé "graphite blanc" car il présente une structure de couches similaire à celle du graphite. Il possède des caractéristiques thermiques exceptionnelles : une conductivité thermique élevée et une excellente résistance aux chocs thermiques. Il est stable jusqu'à 2000 °C dans les atmosphères réductrices et jusqu'à 900 °C dans les atmosphères oxydantes. Il présente des caractéristiques telles qu'une grande usinabilité, une faible dilatation thermique, une transparence aux micro-ondes et une grande résistance à l'humidité des métaux fondus, des scories et du verre. Les pièces céramiques en nitrure de bore sont largement utilisées comme systèmes PVD, MOCVD, MBE, composants de fours, creusets de fusion, isolateurs, rondelles, buses, tubes à micro-ondes, dissipateurs de chaleur et écrans de protection contre les radiations thermiques. Un réacteur MOCVD est une chambre fabriquée dans un matériau qui ne réagit pas avec les produits chimiques utilisés. Il doit également résister à des températures élevées. Cette chambre est composée des parois du réacteur, d'un revêtement, d'un suscepteur, d'unités d'injection de gaz et d'unités de contrôle de la température. Dans le réacteur MOCVD, le substrat est soutenu par un socle, qui fait également office de suscepteur. Le socle/suscepteur est la principale source d'énergie thermique dans la chambre de réaction. Seul le suscepteur est chauffé, de sorte que les gaz ne réagissent pas avant d'atteindre la surface chaude de la plaquette. Les parois de la chambre de réaction dans un réacteur à parois froides peuvent toutefois être indirectement chauffées par la chaleur rayonnant du piédestal/suscepteur chaud, mais resteront plus froides que le piédestal/suscepteur et le substrat que le piédestal/suscepteur supporte. Le nitrure de bore est donc un bon choix car la densité de puissance, la température de fonctionnement, le degré d'isolation et la rigidité diélectrique des éléments chauffants peuvent être grandement améliorés en utilisant le nitrure de bore comme isolant.