Recuit pour l'énergie DOA-420

grandes séries

Équipements de diffusion/oxydation/négociation horizontaux Cet équipement est principalement utilisé pour le dopage et la formation de jonctions PN sur les plaquettes de silicium dans le processus de fabrication des cellules solaires en silicium cristallin. Préparer le bateau de quartz & les plaquettes→ Insérer les plaquettes→ Charger les plaquettes→ Choisir la recette → Chargement du bateau→ tube Aspiration→ Montée en température→ Entrée d'oxygène→ Entrée de Pocl3→ Pousser dedans→ Traitement DOA→ Déchargement du bateau→ Refroidissement→ Test→ Déchargement des plaquettes. - Diffusion à basse pression, oxydation et recuit. - Solution technologique de haute résistance des feuilles. - Technologie brevetée, disponible pour la diffusion du Bore. - Structure unique de la porte du four à double couche d'encastrement. - Technologie brevetée pour le système de traitement des gaz d'échappement. - Mécanisme de poussée du bateau module intégral à grande vitesse. - Technologie de stabilisation de la pression de la source d'air de haute précision. - Contrôle automatique intelligent. - Logiciel MES avec droit de propriété intellectuelle indépendant. - Protection par alarme en cas de surchauffe, de rupture de thermocouple et de collision avec un bateau. - Solution d'usine intelligente Match S.C.