·Conception à chambre unique avec un encombrement réduit et une durée de fonctionnement courte.
·Adapté au dépôt de films composites multicouches à partir de différents précurseurs et matériaux, avec une grande évolutivité du procédé.
·Contrôle précis de l'épaisseur et de l'uniformité du film, garantissant une structure dense présentant une excellente conformité, une faible densité de défauts et d'excellentes propriétés.
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