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Machine de dépôt PECVD PECVD
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Caractéristiques
- Méthode
- PECVD
Description
· Contact fiable entre les électrodes, réduisant efficacement la poussière ainsi que la fréquence des alarmes haute fréquence.
· Unité de chargement/déchargement automatique des bateaux, simple et fiable, améliorant l'espace de maintenance et la facilité d'utilisation de l'équipement.
· Installation et maintenance des pièces mobiles d’un seul côté, ce qui réduit l’encombrement des équipements montés dos à dos sans affecter leur maintenance.
· Mécanisme de poussée des nacelles à module intégré, à la fois rapide et stable.
· Technologie brevetée de chauffage auxiliaire.
· Technologie de revêtement rapide.
· Logiciel MES et système CCC dotés de droits de propriété intellectuelle indépendants.
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Horizontal Furnaces Series
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.