Système de manutention automatique

modulairede waferde transport

·Conception modulaire, avec des composants hautement standardisés pour les structures internes similaires, ce qui facilite la gestion des pièces de rechange ; ·Écran tactile + commande par API : l'interface utilisateur est simple et claire ; ·Logique de transfert et de manutention de petits bacs de traitement, avec un débit élevé : ≥ 8 000 pièces/h (plaquettes de 182 mm) ; ·Fonction de mise en pause accessible au niveau d’autorisation le plus élevé afin de renforcer pleinement la redondance de sécurité de l’équipement ; ·Système de détection courant dans l’industrie disponible (en option), pour améliorer le rendement de production ; ·Compatible avec les AGV et le système FRID pour permettre la planification et le suivi automatiques des cassettes et des supports de traitement, et compatible avec la gestion et la planification au niveau de l’atelier des cassettes et des supports de traitement grâce à l’intégration avec le système MES.