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Machine de dépôt PVD
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Caractéristiques
- Méthode
- PVD
Description
·Technologie intégrée de dépôt physique en phase vapeur (PVD) et de dépôt par plasma réactif (RPD).
·Gamme d'équipements allant des appareils de R&D aux équipements de production en série.
·Capacité de production en série : 100 MW, 250 MW, 600 MW.
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