Station de dosage JW-300-LDS CDS

Aperçu
Le module de distribution de liquides (CDM) JW-300-LDS CDS repose sur des vannes diaphragme Ultra-High Purity (UHP) conçues pour manipuler des gravures agressives et des boues abrasives en production de semi‑conducteurs. Le bon choix, la surveillance et la maintenance des vannes sont essentiels pour éviter la contamination, le dégagement de particules et les arrêts non planifiés.

Maintenance et recommandations de conception
Privilégiez des vannes diaphragme UHP à joint métal‑sur‑métal qui isolent le fluide de procédé de l'actionneur afin d'éliminer les volumes morts. Mettez en place une surveillance prédictive via le PLC du CDM : suivez le nombre de cycles des vannes et les différentiels de pression sur le collecteur pour détecter l'altération d'une membrane avant une fuite. Établissez des protocoles d'aspersion avec eau déionisée pour éviter la cristallisation chimique sur les sièges et planifiez le remplacement des composants fortement usés pendant les fenêtres d'arrêt planifiées pour préserver les niveaux de pureté en parties par trillion (ppt) et prolonger la durée de vie du module.

Données techniques
Model : JW-300-LDS CDS
Special gas cabinet size : W1900*D800*H2100
Control cabinet power supply : Control power supply: 220VAC, 50HZ, 500W, heating power supply: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
Purge : PN2,1/4”MVCJ
High pressure holding : GN2.1/4” MVCJ
Vacuum : 1/2” MVCJ
VENT drain pipe : CDA driver, 1/4" SWG
Pneumatic air source : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Cabinet ventilation : OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr
Standard equipment : Automatic switching, automatic purging, explosion-proof and anti-leaving cabinet, explosion-proof self-locking door, explosion-proof glass observation window, leakage alarm, remote cut-off, negative pressure alarm
Operation interface : 10" color touch screen

Options

• Détecteur de flamme UV/IR
• Chauffage de cylindre
• Chauffage de panneau
• Module de communication Ethernet
• Balance de pesée
• Interrupteur de débit excessif
• Interrupteur détecteur de fumée

Applications

• Semi‑conducteur
• Photovoltaïque
• Énergie solaire
• Panneau à cristaux liquides
• Fibre optique
• Autres domaines de production

Produits chimiques spéciaux traités

• HF - acide fluorhydrique
• HCL - acide chlorhydrique
• H2O2 - peroxyde d'hydrogène
• KOH - hydroxyde de potassium
• HNO3 - acide nitrique
• NH4OH - hydroxyde d'ammonium
• H2SO4 - acide sulfurique

Fonctions

• Filtration des produits chimiques liquides
• Prélèvement d'échantillons de produits chimiques liquides
• Circulation des produits chimiques liquides
• Distribution des produits chimiques liquides

Remarques sur la construction et les performances
Les chemins humides du fluide utilisent de l'acier inoxydable 316L électropoli avec une finition de surface 5Ra pour minimiser la génération de particules et assurer la compatibilité chimique. Les vannes diaphragme UHP propriétaires présentent des joints métal‑sur‑métal et une automatisation contrôlée par PLC pour la gestion des recettes et la maintenance prédictive. Les mesures de sécurité à plusieurs niveaux incluent rétention secondaire, surpression d'azote et détection automatique de fuites pour protéger le personnel et le rendement.

caractéristiques / spécifications techniques

• Model: JW-300-LDS CDS
• Taille de l'armoire: W1900 × D800 × H2100
• Alimentation commande: 220VAC, 50Hz, 500W; puissance chauffage: 220VAC, 50Hz, 1–6KW
• Gaz de purge: PN2, 1/4" MVCJ
• Maintien haute pression: GN2, 1/4" MVCJ
• Raccord vide: 1/2" MVCJ
• Tuyau de vidange VENT: CDA driver, 1/4" SWG
• Capacité source d'air pneumatique: OD 150mm; silane 810 m³/hr; autres 204 m³/hr
• Capacité ventilation armoire: OD 150mm; silane 810 m³/hr; autres 204 m³/hr
• Interface opérateur: écran tactile couleur 10"
• Équipements/sécurités standard: commutation automatique, purge automatique, armoire antidéflagrante, porte à verrouillage automatique antidéflagrante, hublot antidéflagrant, alarme de fuite, coupure à distance, alarme de pression négative
• Matériaux & finition: acier inoxydable 316L électropoli, finition 5Ra
• Fonctions clés: filtration, prélèvement, circulation, distribution de produits chimiques liquides spéciaux