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Caractéristiques

Fonction
à diffusion
Configuration
de type armoire

Description

Cette machine est conçue pour doper le phosphore et le bore afin de former la "jonction p-n", un composant essentiel des cellules solaires en silicium cristallin. Spécifications POCl₃ Haut débit : 7 854 plaquettes/heure (2 400 plaquettes/bateau) Temps de cycle : 110 min Temps de fonctionnement : 99% BBr₃ Haut débit : 3 600 plaquettes/heure (2 400 plaquettes/bateau) Durée du cycle : 240 min Temps de disponibilité : 99

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Ceci est une traduction automatique  (voir l’original en anglais)

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