Four d'oxydation LP
de type armoire

four d'oxydation
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Caractéristiques

Fonction
d'oxydation
Configuration
de type armoire

Description

Cette machine est conçue pour améliorer l'efficacité des cellules en appliquant une couche de passivation sur la face avant de la plaquette de silicium après l'isolation des bords et l'élimination du PSG. Spécifications Haut débit : 14 400 plaquettes/heure (2 400 plaquettes/bateau) Durée du cycle : 60 minutes Temps de disponibilité : 99 %

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