Machine de dépôt par pulvérisation cathodique verticale en ligne OPT-S 1800

à magnétronpour applications automobiles

Aperçu du produit
OPT-S 1800 est une machine de dépôt optique par pulvérisation magnétron disposant d'une surface de dépôt effective de Ø940 × H1600 mm et d'une enceinte de Ø1200 × H2180 mm. Elle intègre un grenaillage/attaque par source d'ions et comporte 8 sources de pulvérisation ; configurations planes ou cylindriques disponibles. Le système prend en charge des porte-pièces cylindriques planétaires verticaux et convient au dépôt de films optiques multicouches.

Applications

• Verres et lentilles optiques
• Panneaux automobiles
• Écrans d'affichage
• LiDAR
• Affichages tête haute (HUD)

Types de films listés

• Filtres coupe-onde
• Filtres passe-bande
• Filtres RGB
• AR (anti-reflet)
• AR dur
• IR-AR
• HR (haute réflectance)
• AS/AF (anti-traces / anti-empreintes)
• Revêtements ITO

Avantages clés

• 8 sources de pulvérisation (options planes ou cylindriques) pour des configurations de dépôt flexibles
• Système de surveillance optique en ligne (contrôle spectral en temps réel et arrêt de dépôt) pour films multicouches
• Mouvement planétaire vertical du porte-pièces (révolution et rotation) pour une distribution d'épaisseur uniforme
• Films optiques denses et adhérents avec faible absorption et diffusion grâce au procédé de pulvérisation
• Commande par écran tactile et PLC avec modes manuel / semi-automatique / entièrement automatique
• Équipé de 8 pompes moléculaires pour des performances et une stabilité du vide

Paramètres produit (représentation)
Modèle : OPT-S 1800
Technologie de dépôt : Pulvérisation magnétron
Technologie d'attaque : Attaque par source d'ions
Matériaux substrats : Verre, matériaux cristallins, polymères, céramiques et métaux
Structure de l'équipement : Système vertical intégré ; porte latérale ; 2 hublots
Mouvement du porte-pièces : Porte-pièces cylindrique planétaire vertical
Température de travail : Réglable de la température ambiante à 300°C
Vide ultime : 8 × 10⁻⁵ Pa (à vide, condition salle blanche)
Modes de contrôle : Manuel / semi-automatique / entièrement automatique ; écran tactile + PLC
Gaz de procédé : Argon, azote, oxygène et acétylène
Surveillance optique : Système de surveillance optique en ligne (OMS)
Alimentations de polarisation : 1
Dimensions de l'équipement (L × l × H) : L4.0 × W2.1 × H3.3 m

Caractéristiques techniques

• Surface de dépôt effective : Ø940 × H1600 mm
• Taille de la chambre : Ø1200 × H2180 mm
• Sources de pulvérisation : 8 (options planes ou cylindriques)
• Spécification du porte-pièces : Ø170 × 12 axes (ajustable selon exigences)
• Vide ultime : 8 × 10⁻⁵ Pa (à vide, condition salle blanche)
• Plage de température de travail : température ambiante à 300°C
• Gaz de procédé pris en charge : Argon, Azote, Oxygène, Acétylène
• Contrôle : Écran tactile + PLC ; manuel / semi-automatique / entièrement automatique
• Surveillance optique : OMS en ligne pour contrôle spectral en temps réel et arrêt de dépôt
• Empreinte au sol : L4.0 × W2.1 × H3.3 m
• Structure : Système vertical intégré avec porte latérale et 2 hublots
• Applications types : lentilles optiques, panneaux automobiles, écrans d'affichage, LiDAR, HUD