Machine de dépôt par pulvérisation cathodique à magnétron OPT-S 1700

verticale en lignepour applications automobiles

Aperçu du produit
OPT-S 1700 est une machine de dépôt optique par pulvérisation magnétron avec une surface utile de Φ940 × H1200 mm et une enceinte de Φ1200 × H1900 mm. Elle intègre une gravure par source d'ions et 8 sources de pulvérisation, avec options de sources planaires ou cylindriques. La série OPT-S couvre lentilles optiques, panneaux automobiles, écrans d'affichage, LiDAR et affichage tête haute. Films pris en charge : filtres coupe-onde, bandes passantes et RGB, AR, hard AR, IR-AR, HR, AS/AF et ITO.

Avantages clés

• 8 sources de pulvérisation avec options planar ou cylindrique.
• Système de surveillance optique en ligne pour contrôle spectral en temps réel et point final de dépôt.
• Mouvement planétaire vertical du porte-pièce (révolution et rotation) pour assurer une distribution d'épaisseur uniforme sur couches multiples.
• Processus de sputtering produisant des films optiques denses et adhérents avec faibles pertes par absorption et diffusion.
• Commande écran tactile et PLC pour fonctionnement manuel / semi-automatique / entièrement automatique.

Caractéristiques

• Surface utile de dépôt : Φ940 × H1200 mm.
• Taille de la chambre : Φ1200 × H1900 mm.
• Porte-pièce : Φ170 × 12 arbres (spécification ajustable selon besoins).
• Système de vide : 6 pompes moléculaires.
• Prend en charge plusieurs types de films (coupe-onde, bandes passantes, filtres RGB, AR, hard AR, IR-AR, HR, AS/AF, ITO).

Paramètres du produit
Modèle : OPT-S 1700
Technologie de dépôt : pulvérisation magnétron
Technologie d'etching : gravure par source d'ions
Matériaux substrats : verre, matériaux cristallins, polymères, céramiques et métaux
Structure de l'équipement : système vertical intégré ; porte latérale ; 2 hublots
Mouvement du porte-pièce : système porte-pièce cylindrique planétaire vertical
Spécification du porte-pièce : Φ170 × 12 arbres (ajustable)
Température de travail : réglable ambiante à 300°C
Vide ultime : 8 × 10⁻⁵ Pa (sans charge, condition salle blanche)
Modes de contrôle : Manuel / semi-automatique / entièrement automatique ; écran tactile + PLC
Gaz de procédé : argon, azote, oxygène et acétylène
Contrôle optique : système de surveillance optique en ligne (OMS)
Pompes moléculaires : 6
Dimensions (L × l × H) : L4.0 × W2.1 × H3.1 m

Spécifications techniques

• Modèle : OPT-S 1700
• Dépôt : pulvérisation magnétron — prise en charge des filtres optiques multicouches et des films AR/HR/ITO
• Gravure : gravure par source d'ions
• Surface utile : Φ940 × H1200 mm
• Chambre : Φ1200 × H1900 mm
• Porte-pièce : système cylindrique planétaire vertical ; Φ170 × 12 arbres (configurable)
• Performance du vide : 8 × 10⁻⁵ Pa (sans charge, salle blanche)
• Plage de température : ambiante à 300°C
• Contrôle : écran tactile + PLC ; modes manuel / semi-auto / full-auto
• Monitoring : surveillance optique en ligne pour contrôle spectral et point final
• Pompage : 6 pompes moléculaires
• Dimensions totales : L4.0 × W2.1 × H3.1 m