Magnétron plan

cylindrique

Angstrom Sciences est reconnue à l'échelle internationale pour la technologie de pointe qu'elle apporte aux applications de dépôt par pulvérisation magnétron. Nous avons désormais mis au point une méthode permettant de moderniser vos magnétrons cylindriques existants grâce à notre conception brevetée d'aimants profilés, vous offrant ainsi l'« Angstrom Advantage™ » pour vos processus. Une solution économique La mise à niveau avec des aimants cylindriques offre tous les avantages mentionnés ci-dessus pour environ un tiers du coût de remplacement de votre ensemble cylindrique existant. • Aimants entièrement encapsulés dans de l’acier inoxydable > • Débit d’eau à haut rendement • Compatible avec toutes les conceptions de cibles existantes • Intégration transparente • Uniformité réglable • Le temps de cycle optimisé permet d’obtenir des profils d’érosion plus réguliers • L’amélioration du profil de dépôt réduit l’accumulation de débris sur les parois de la chambre • Une intensité de champ plus élevée permet d’atteindre un taux de dépôt typique à des niveaux de puissance inférieurs