Magnétron rotatif

cylindrique

Angstrom Sciences propose des magnétrons à la pointe de la technologie adaptés à pratiquement tous les procédés de pulvérisation cathodique standard. Mais nous savons que chaque application est unique. C’est pourquoi nous avons développé une approche modulaire unique qui s’adapte spécifiquement à vos spécifications. Les magnétrons cylindriques ont depuis longtemps gagné la confiance de l’industrie du revêtement du verre pour créer des films minces uniformes tout en optimisant l’utilisation de la cible. Aujourd’hui, Angstrom Sciences a mis au point un magnétron cylindrique compact, léger et économique, spécialement conçu pour offrir ces mêmes avantages aux applications d’écrans plats, de cellules solaires et de revêtement de bandes. Conceptions sur mesure Des ensembles complets, en version « drop-in » ou à montage latéral, sont disponibles avec des diamètres de tube de support de 3″ (75 mm) ou 5″ (125 mm) et des longueurs allant jusqu’à quatre mètres. Avec un espacement minimum entre les sources, plusieurs réseaux en ligne sont disponibles pour des systèmes de production compacts à haut débit. Un investissement économique et entièrement compatible L’ONYX-Revolution™ utilise une conception d’aimant universelle et économique, avec des délais de fabrication personnalisés pour s’adapter à tout type de cible. De plus, il est conçu à partir de composants disponibles dans le commerce, ce qui garantit un investissement à faible coût, une fiabilité à long terme et un retour sur investissement rapide. Technologie brevetée La technologie brevetée d’aimants profilés d’Angstrom Sciences crée un profil de dépôt plus régulier entre la source et le substrat. Ce profil de dépôt amélioré permet de réduire l’accumulation de débris sur les parois de la chambre. De plus, le réseau d’aimants d’Angstrom Sciences offre une intensité de champ magnétique plus élevée, ce qui permet à l’utilisateur d’effectuer le processus de pulvérisation cathodique à une puissance moindre pour atteindre des taux de dépôt typiques.