Magnétron pulsé

circulaire

Les magnétrons à refroidissement indirect intègrent une paroi intermédiaire entre l'eau de refroidissement de la cathode circulaire et la cible de pulvérisation. Cette paroi crée un joint étanche permanent entre l'eau et le vide, empêchant ainsi les fuites qui pourraient se produire si la cible venait à être « traversée par la pulvérisation ». Les magnétrons circulaires à refroidissement indirect d’Angstrom Sciences, de 1″ à 4″ (25 mm à 100 mm), intègrent une pince de fixation de cible filetée et un écran d’anode qui s’adaptent à des cibles de pulvérisation d’épaisseurs variables. Le changement de cible sur cette conception filetée est rapide et facile, ne nécessitant aucun outil ni dispositif auxiliaire. De plus, la pince de fixation filetée de la cible et le bouclier d’anode permettent d’obtenir une tête de magnétron circulaire compacte. Les magnétrons circulaires d’Angstrom Sciences peuvent ainsi s’intégrer dans des chambres à vide exiguës et permettre la pulvérisation d’un substrat dont la surface est plus grande que celle traitée par les magnétrons conventionnels. Les magnétrons à refroidissement indirect sont recommandés pour les applications à faible puissance et constituent un choix idéal pour les applications de recherche et développement.