Magnétron pulsé

sur mesurecirculaire

Les magnétrons circulaires d’Angstrom Sciences sont désormais reconnus comme la référence dans le secteur de la pulvérisation cathodique grâce à l’« Angstrom Advantage™ » et à une multitude d’autres caractéristiques de conception qui offrent des possibilités quasi illimitées en matière de configuration et de performances de traitement. Conception polyvalente et compacte Grâce à leur conception compacte, nos magnétrons circulaires sont idéaux pour toute application, qu’elle soit nouvelle ou de modernisation, y compris les assemblages en grappe les plus complexes destinés aux chambres à vide les plus petites. Compatibilité totale en matière de puissance Les têtes à faible impédance offrent une compatibilité avec les puissances RF, CC, CC à moyenne fréquence, CC pulsée, HiPIMS et micro-ondes. Raccords standard Nous utilisons des raccords standard ISO NW, ainsi que des brides à joint métallique Conflat®. Tous les raccordements sont maintenus à la pression atmosphérique et sont accessibles via des raccords à compression à joint torique standard, pour une installation aisée dans n’importe quel système sous vide. Gamme complète de tailles Les sources magnétrons circulaires sont disponibles avec des diamètres de cible allant de 1″ (25 mm) à 16″ (406 mm) et au-delà, en configurations standard ou sur mesure. Changement rapide et facile de la cible Notre pince de serrage filetée brevetée et le blindage d’anode de nos petites cathodes circulaires vous permettent de changer de cible sans avoir recours à des outils auxiliaires. Leur réglage intégré vous permet également d’adapter des cibles d’épaisseurs variables sans utiliser de dispositifs d’espacement. Basse pression, haute puissance Les magnétrons ONYX® peuvent fonctionner à des pressions extrêmement basses (jusqu’à 10⁻⁴ Torr), et nos modèles à refroidissement direct peuvent fournir des densités de puissance allant jusqu’à 250 watts/pouce carré (30 watts/cm²) en fonctionnement continu.