Magnétron pulsé

sur mesurelinéaire

Les magnétrons linéaires d’Angstrom Sciences intègrent nos aimants en terres rares NdFeB profilés, entièrement encapsulés et brevetés, qui répartissent le champ magnétique sur toute la surface de la cible, ce qui augmente le taux d’utilisation de celle-ci et minimise la contamination par des particules provenant de sa surface. Toutes nos cathodes de pulvérisation par magnétron intègrent également un écoulement d’eau turbulent afin d’assurer un transfert thermique optimal et de minimiser les irrégularités dues aux points chauds à la surface de la cible. Ces caractéristiques, associées à des éléments tels que des entrées de gaz de traitement intégrées, des parois d’anode solides et l’utilisation de matériaux de pointe, garantissent des performances et une fiabilité inégalées pour votre processus de pulvérisation. Alors que de plus en plus de secteurs découvrent la rapidité, la contrôlabilité et les avantages économiques de la pulvérisation magnétron, Angstrom Sciences développe des outils pour maximiser le rendement de ces processus de fabrication plus importants et plus rapides. Des solutions à plus grande échelle Pour ceux qui doivent revêtir des substrats extrêmement larges ou atteindre des débits extrêmement élevés, les magnétrons linéaires offrent la solution en ligne idéale. Compatibilité totale en termes de puissance Les têtes à faible impédance offrent une compatibilité avec les puissances RF, CC, CC à moyenne fréquence, CC pulsée, HiPIMS et micro-ondes. Raccords standard Nous pouvons utiliser des raccords standard ISO NW, des brides à joint métallique Conflat® ou des brides sur mesure scellées par joint torique pour le montage. Toutes les alimentations sont généralement maintenues à la pression atmosphérique et accessibles via des raccords à compression standard à joint torique pour une installation facile dans n’importe quel système de vide. Performances éprouvées Ces magnétrons offrent des performances inégalées qui ont fait d’Angstrom Sciences la référence du secteur.