PrésentationConvient pour l'assemblage multicouche en combinaison avec des wafers semi-conducteurs tels que les dispositifs MEMS.
CaractéristiquesAmélioration du rendement de collage avec les wafers- Contrôle de l'affaissement autour des trous
- Réduction de la taille des éclats (chipping)
- Possibilité de conformité jusqu'à ≦10 μm
Options- Suppression des microfissures issues de l'usinage pour maîtriser les particules
- Réduction des dysfonctionnements de collage avec les dispositifs MEMS causés par les particules
Spécifications standard- Matériau : Verre
- Diamètre maximum du verre : ≦φ200 mm
- Épaisseur minimale : 0,15 mm
- Tolérance d'épaisseur : ±0,01 mm
- Taille minimale de perçage : φ0,3 mm
- Forme de fenêtre : sur demande
- Tolérance dimensionnelle de la fenêtre : ±0,02 mm
- Taille d'écaillage : ≦100 μm (contrôlable jusqu'à ≦10 μm)
- Forme de la section transversale : droite / conique / à marche
- Métallisation : possible
Marchés finaux / Applications- Projecteur
- Dispositifs d'affichage pour projecteurs, etc.
- Semi-conducteurs
- RF-MEMS switches
- Capteurs d'images
- AV / Mobile
- RF-switches/relais pour smartphones, consoles portables, appareils photo numériques, systèmes de navigation automobile
- Automobile
- Capteurs de pression, capteurs d'accélération
- Gyroscopes, composants LED
- Biotechnologie / Médical
- Puce d'analyse pour analyseurs ADN/découverte de médicaments
- Micro-réacteurs pour réactions biochimiques/électrophorèse
- Bioreacteurs pour capteurs chimiques/détection de micro-organismes
- Capteurs industriels de détection de gaz
Caractéristiques / Spécifications techniques- Cible : Assemblage multicouche de wafers semi-conducteurs, incluant les dispositifs MEMS
- Matériau : Divers types de verre
- Diamètre verre max : ≦φ200 mm
- Épaisseur min : 0,15 mm
- Tolérance d'épaisseur : ±0,01 mm
- Diamètre de trou min : φ0,3 mm
- Formes et tailles de fenêtre : sur demande (tolérance ±0,02 mm)
- Contrôle d'écaillage : ≤100 μm standard ; contrôlable jusqu'à ≦10 μm
- Options de coupe transversale : droite, conique, à marche
- Métallisation : possible
- Options : Traitement de surface et suppression des microfissures pour réduire les particules et améliorer le rendement de collage