Grille

Aperçu
Trous micro-perçants carrés sans rayons d'angle (R=0) permettant des motifs à pas étroit et petit diamètre auparavant impraticables.

Caractéristiques

• Micro-trous à haute densité
  • Exemple : jusqu'à 150 000 trous de 0,1×0,1 mm sur une plaquette de 3 pouces
• Trous traversants à haut rapport d'aspect (jusqu'à 1:10)
  • Plage typique 1:8–1:10 ; sections droites ou coniques disponibles
• Taille de crantage minimisée
  • Améliore le contact lors du collage anodique au Si

Options

• Métalisation des parois latérales
  • Réduit l'interférence optique ou l'absorption entre les trous
• Géométrie de cavité sélectionnable

Spécifications standard
Matériau : Borofloat 33 (BF33) etc.
Taille du verre : ≦φ150 mm
Épaisseur min. : 0,25 mm
Tolérance d'épaisseur : ±0,01 mm
Taille min. de trou : □0,07 mm
Tolérance de taille de trou : ±0,02 mm
Rapport d'aspect max. : 1 : 10
Contrôle particulaire : Disponible
Forme de la section : Droite / Conique

Caractéristiques / spécifications techniques

• Matériau : Borofloat 33 (BF33) etc.
• Taille du verre : ≦φ150 mm
• Épaisseur minimale : 0,25 mm ; tolérance ±0,01 mm
• Taille minimale de trou : carré 0,07 mm ; tolérance ±0,02 mm
• Rapport d'aspect maximal : jusqu'à 1 : 10 (typ. 1:8–1:10)
• Section transversale : trous droits ou coniques
• Microtrous haute densité : ex. 150 000 trous de 0,1×0,1 mm sur une plaquette de 3 pouces
• Métalisation des parois latérales disponible pour maîtriser l'interférence/absorption optique
• Contrôle particulaire et manipulation en salle blanche disponibles
• Crantage minimisé pour améliorer les performances du collage anodique