La MD-P200 de Panasonic est une machine de collage de matrices à haute productivité. Le système de tête synchrone offre une productivité inégalée et permet d'obtenir des résultats supérieurs à ceux des machines de liage conventionnelles. L'alimentation des wafers, le pré-centrage, la tête de collage et le distributeur fonctionnent en parallèle pour atteindre un rendement élevé.
La MD-P200 répond aux besoins actuels en matière de collage de petits moules et de moules minces et offre des possibilités pour les défis de demain. Le pré-centrage précis de la matrice assure un basculement minimal de la matrice et une nouvelle conception de l'éjecteur permet de traiter les matrices minces. Des fonctionnalités pour les emballages multi-filières sont également disponibles.
- Logiciel de cartographie de la tranche de silicium
- Option de faible force d'adhérence
- Flexible pour les matrices multiples
Productivité *
0.65 s / IC pour le collage thermosonique
(y compris le temps de traitement de 0,2 seconde, dans les conditions les plus rapides)
[*1]
Précision de placement *
XY (3 dans les conditions PFSC) : ±5 µm
[*1]
Dimensions du support (mm)
L 50 × L 30 à L 120 × L 120
Dimensions de la matrice (mm)
L 0,25 × W 0,25 à L 6 × W 6
Nombre de types de matrices
1 type de produit (fourniture manuelle de plaquettes) / Jusqu'à 12 types de produits (spécifications AWC)
*La buse est d'un seul type
Alimentation de la matrice
Cadre de plaquette (max. 8 pouces) , Plateau
Charge de collage
Tête VCM pour procédé thermosonique : 1 N à 50 N (Option : 2 N à 100 N)
Chauffage de la tête
Jusqu'à 300℃ pour la tête VCM
Chauffage du substrat *
Chauffage constant, jusqu'à 300℃
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