Système de mesure de dimension critique NEXIV VMF-K series

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Présentation
La série NEXIV VMF-K de Nikon est un système de mesure vidéo confocal qui combine l'imagerie 2D à grande vitesse et la mesure de hauteur confocale (3D) dans un même champ de vision. Elle s'adresse aux flux de production en semi-conducteurs et en ingénierie de précision, notamment l'inspection de cartes sondes, le WLP, la production de substrats et la métrologie de composants miniaturisés.

Avantages clés

• Rendement accru : amélioration d'environ 1,5× par rapport aux modèles précédents pour les mesures 2D et de hauteur combinées.
• Acquisition 2D (Bright Field) et mesure de hauteur confocale simultanées, réduisant le temps d'inspection.
• Source confocale Green LED à longue durée de vie (~30 000 h) remplaçant le xénon pour une meilleure stabilité et maintenabilité.
• Mesures stables sur échantillons à fort contraste, très réfléchissants ou très transparents/minces.
• Prise en charge de mesures longue dimension (au‑delà d'un seul champ de vision) et de stratégies de mesure basées sur coordonnées.

Points forts du produit

• Optique Bright Field intégrée avec zoom motorisé 5 positions et mesure de hauteur confocale pour structures fines.
• Tête 45× standard pour mesurer des caractéristiques ultra‑fines en semi-conducteurs (sous 2 µm).
• Sources LED : White LED pour Bright Field, Green LED pour balayages confocaux de hauteur.
• Options d'autofocus : TTL Laser AF et Image AF.
• Ergonomie et maintenance améliorées : accès simplifié à la tête, témoin LED frontal sur la tête de mesure.

Modèles et domaines d'application
La famille NEXIV VMF-K couvre plusieurs courses et besoins de production :

• NEXIV VMF-K3040 — courses XYZ 300 × 400 × 150 mm : applications à course moyenne, inspection de cartes sondes.
• NEXIV VMF-K6555 — courses XYZ 650 × 550 × 150 mm : plus grande capacité table pour substrats, wafers plus grands et cartes sondes volumineuses.

Cas d'utilisation représentatifs

• Inspection de probe cards : capture 2D/hauteur simultanée en un seul FOV, rendement accru et mesures longue dimension.
• Inspection de wafers et WLP : l'objectif 45× prend en charge la métrologie de très fines caractéristiques ; le système confocal gère surfaces réfléchissantes et couches transparentes.
• Production de substrats et contrôle qualité : mesures fiables sur échantillons fins/transparents et mesures coordonnées sur longues dimensions.

Remarques sur l'optique et la méthode de mesure
Le système combine imagerie Bright Field 2D et balayage confocal de hauteur dans un flux de mesure unique. Le balayage confocal accepte une hauteur maximale d'environ 1 mm. L'optique Bright Field utilise un zoom motorisé 5 positions pour couvrir une large plage de champs et de grossissements. Le chemin confocal offre une haute résolution en hauteur et une bonne répétabilité pour les inspections 3D exigeantes.

Caractéristiques techniques (sélection)

• Nom de la série : NEXIV VMF-K Series
• Têtes de mesure : Standard (Type-S), High-magnification (Type-H), 45× High-magnification
• Grossissements (exemples) : 1.5×, 3.0×, 7.5×, 15×, 30×, 45×
• Distances de travail (exemples) : 24 mm (1.5×/3.0×), 5 mm (7.5×/30×/45×), 20 mm (15×)
• Balayage confocal max : 1 mm
• Champ confocal (exemples) : 7.80×5.82 mm → 0.26×0.19 mm (selon tête/grossissement)
• Répétabilité hauteur (2σ) : ex. 0.6 µm, 0.35 µm, 0.25 µm, 0.20 µm
• Résolution hauteur : typ. 0.025 µm ; jusqu'à 0.01 µm en modes haute résolution
• Sources lumineuses : Confocal = Green LED ; Bright Field = White LED
• Autofocus : TTL Laser AF et Image AF
• Alimentation : AC 100–240 V ±10%, 50/60 Hz ; consommation ≈ 3–5.5 A selon configuration
• Modèles représentatifs : VMF-K3040 = 300×400×150 mm ; VMF-K6555 = 650×550×150 mm
• Charge garantie (précision) : VMF-K3040 ≈ 20 kg ; VMF-K6555 ≈ 30 kg
• Lecture minimale / résolution digitale : 0.01 µm
• Emprise d'installation recommandée (ex.) : VMF-K3040 ≈ 3150×3000 mm ; VMF-K6555 ≈ 3200×3300 mm