Système de mesure de dimension critique NEXIV VMZ-S

du champ de vision (FOV)de distancede coordonnées

Présentation produit
La série NEXIV VMZ‑S de Nikon regroupe des systèmes de mesure vidéo destinés à la mesure dimensionnelle et de hauteur en environnement industriel. Les modèles disponibles sont VMZ‑S3020, VMZ‑S4540 et VMZ‑S6555; six types d'objectifs/zoom optiques sont proposés et le laser de scanning TTL est fourni en standard.

Vitesse et précision

• L'autofocus laser TTL permet un balayage hauteur à grande vitesse jusqu'à 1 000 points/s pour l'acquisition de profils de surface.
• Lecture minimale 0,01 µm et répétabilité AF laser 2σ ≤ 0,5 µm pour des mesures dimensionnelles traçables.
• Conçu pour des chaînes d'inspection en continu avec mesures automatiques tolérantes aux variations de positionnement des pièces.

Points forts

• Six types d'optiques (Type 1, 2, 3, 4, TZ, A) couvrant de larges champs et de fortes augmentations; Type 1–3 privilégient faible distorsion et haut NA, Type 4 et TZ couvrent les forts grossissements.
• Éclairage annulaire 8 segments avec plusieurs angles d'incidence (LED blanches) améliorant la détection de bords; options d'éclairage selon type : épiscopique, diascopique, fond noir.
• Possibilité de détecter des couches transparentes d'environ 0,1 mm via l'AF laser TTL (non disponible pour le Type A).
• Sondes d'imagerie et options de palpage avec faibles erreurs de palpage pour la mesure de caractéristiques fines (P_FV2D,MPE 0,3 µm; P_F2D,MPE 0,8 µm).

Fonctions principales

• Mesures dimensionnelles précises et rapides sur différentes gammes de grossissement grâce aux optiques haut NA.
• Stratégies d'éclairage flexibles et options dédiées pour la mesure d'arêtes difficiles et de géométries complexes.
• Caméra CMOS 1/3" en noir & blanc ou couleur et zoom optique sans changement d'objectif pour observation et mesure.
• Intégration possible avec les logiciels Nikon et SDK disponibles pour l'automatisation et le traitement des données.

Spécifications (récapitulatif)
Modèle | VMZ‑S3020 | VMZ‑S4540 | VMZ‑S6555
Courses XYZ | 300 × 200 × 200 mm (TZ faible grossissement : 250 × 200 × 200 mm) | 450 × 400 × 200 mm (TZ faible grossissement : 400 × 400 × 200 mm) | 650 × 550 × 200 mm (TZ faible grossissement : 600 × 550 × 200 mm)
Lecture minimale | 0,01 µm (tous modèles)
Poids échantillon max. | 20 kg (précision garantie : 5 kg) | 40 kg (précision garantie : 20 kg) | 50 kg (précision garantie : 30 kg)
Erreur maximale tolérée (MPE) | EUX/EUY, MPE = 1,2 + 4L/1000 µm ; EUXY, MPE = 2,0 + 4L/1000 µm ; EUZ, MPE = 1,2 + 5L/1000 µm
Erreur de palpage | P_F2D,MPE = 0,8 µm ; P_FV2D,MPE = 0,3 µm
Caméra | CMOS 1/3" (NB / couleur)
Distance de travail | Type 1–3 : 50 mm ; Type 4 : 30 mm ; Type TZ : (fort grossissement) 11 mm / (faible) 32 mm ; Type A : 73,5 mm (63 mm avec Laser AF)
Répétabilité AF laser | 2σ ≤ 0,5 µm
Éclairage | Épiscopique, diascopique, anneau 8 segments multi‑angles (LED blanches) ; configurations spécifiques selon type
Alimentation / consommation | AC100–240 V, 50/60 Hz / 2–4 A
Dimensions & masse | Voir entrées spécifiques par modèle (châssis principal et contrôleur).

Caractéristiques techniques

• Série : NEXIV VMZ‑S (VMZ‑S3020, VMZ‑S4540, VMZ‑S6555).
• Lecture minimale : 0,01 µm.
• AF laser TTL : balayage hauteur jusqu'à 1 000 points/s ; répétabilité 2σ ≤ 0,5 µm.
• Exactitude de palpage : P_FV2D,MPE 0,3 µm ; P_F2D,MPE 0,8 µm.
• Éclairages : épiscopique, diascopique, anneau segmenté ; options fond noir selon type.
• Caméra : 1/3" CMOS (NB / couleur).
• Alimentation : AC100–240 V, 50/60 Hz.
• Encombrement et masse : variables selon modèle ; consulter les dimensions modèle par modèle pour l'installation.