Système de mesure de diamètre NEXIV VMZ-NWL200

de positionde dimension critiquedimensionnel

Présentation
VMZ-NWL200 est un système de mesure automatique de plaquettes qui intègre le système de mesure vidéo NEXIV et le chargeur de plaquettes NWL200. Grâce à un traitement d’image avancé, il effectue des mesures automatiques, rapides et précises de plaquettes de 6 et 8 pouces contenues dans des cassettes, et fournit des données adaptées au contrôle de procédé en microélectronique.

Fiabilité, efficacité et opérabilité

• Grande fiabilité : mesures entièrement automatiques et reproductibles réduisant les variations liées aux opérateurs ; l’optique Nikon fournit des images nettes pour une détection précise des bords.
• Haute efficacité : démarrage de l’inspection en un clic ; productivité de mesure nettement supérieure aux microscopes de mesure traditionnels, réduisant le coût de possession.
• Bonne opérabilité : l’interface graphique affiche la cartographie de la plaquette et permet de sélectionner les puces par clic ; le logiciel dédié simplifie les opérations de contrôle de procédé et accélère le retour d’informations vers la production.

Points forts

• Cellule de mesure intégrée combinant le système vidéo NEXIV et le chargeur automatique NWL200.
• Inspection automatique et sûre des plaquettes 6" et 8" chargées en cassette.
• Mesure haute vitesse et haute précision conçue pour le contrôle des procédés et les exigences Quality 4.0.

Fonctions principales

• Manipulation et mesure automatiques des plaquettes 6" et 8" en cassette, incluant transfert et positionnement.
• Programmes d’inspection robustes pouvant être créés, exécutés et archivés avec traçabilité complète.
• Contribue à l’amélioration du rendement en fournissant rapidement des données de mesure de haute qualité aux systèmes de contrôle de production.
• Sélection des puces et configuration des mesures via l’interface GUI pour simplifier les opérations.

Spécifications techniques

• Dispositif : Système de mesure vidéo – NEXIV (VMZ-S3020 Type2 / Type3 / TypeTZ) ; Chargeur – NWL200
• Taille des plaquettes : 6 pouces, 8 pouces (norme SEMI/JEIDA)
• Cassettes compatibles : 6" – PA182-60MB-06XX (Entegris) ; 8" – PA192-80M-06XX (Entegris)
• Capacité (référence de transfert) : 6 min 45 s pour 25 plaquettes (hors temps de mesure)
• L/S minimum : 500 lignes/mm
• Température de fonctionnement : 19–26 °C
• Humidité de fonctionnement : moins de 70 % HR
• Dimensions (L x P) : 4125 x 3040 mm
• Tension d’alimentation : CA 100–120 V / 200–240 V
• Fréquence : 50 Hz / 60 Hz
• Consommation : 7,5 A / 3,7 A
• Vide : -80 kPa

Remarques

• *1 Évaluation de transfert de plaquettes requise avant vente.
• *2 Le temps de transfert indiqué concerne 25 plaquettes et n’inclut pas le temps de mesure.