pour des conditions de vide poussé jusqu'à 10^ (- 9) mbar
voyage de 2 millimètres dans la direction de x, de y et de z
empreinte de pas de 25 x 35 millimètres
Positionneurs miniatures de xyz avec la commande à inertie électrique piézo-électrique. Édition d'UHV du MX 25.
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