pour des conditions de vide poussé jusqu'à 10^(-6) mbar
encombrement 25 x 35 mm
Positionneurs xyz miniatures avec entraînement inertiel piézoélectrique. Edition vide du MX 25.
Caractéristiques techniques
Largeur - 35 mm
Hauteur - 18,5 mm
Profondeur - 25 mm
Charge max. Charge (3 axes)
Mx, My, Mz (élan) - 1,5 Ncm
Forces de blocage (Fx, Fy, Fz) - 2 N
Précision du guidage
Angle de lacet - 20 secondes d'arc
Angle de tangage - 60 secondes d'arc
Déviation verticale - 2 um
Déviation latérale - 2 um
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