Platine de positionnement linéaire MS15
XYZpiézoélectrique3 axes

platine de positionnement linéaire
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Caractéristiques

Orientation
linéaire, XYZ
Type
piézoélectrique
Nombre d'axes
3 axes
Autres caractéristiques
miniature, compatible vide
Course

3 mm
(0,118 in)

Vitesse

1,5 mm/s

Description

pour des conditions de vide très poussé jusqu'à 10^ (- 9) mbar voyage de 3,5 millimètres dans la direction de x, de y et de z empreinte de pas de 15 x 15 millimètres Étapes miniatures ultra petites de traduction avec la commande à inertie éclectique piézo-électrique. Édition d'UHV de MS15.

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