pour des conditions de vide très poussé jusqu'à 10^ (- 9) mbar
voyage de 3,5 millimètres dans la direction de x, de y et de z
empreinte de pas de 15 x 15 millimètres
Étapes miniatures ultra petites de traduction avec la commande à inertie éclectique piézo-électrique. Édition d'UHV de MS15.
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