pour des conditions de vide poussé jusqu'à 10^ (- 6) mbar
voyage de 3,5 millimètres dans la direction de x, de y et de z
le plus petit produit dans notre dossier
Étapes miniatures ultra petites de traduction avec la commande à inertie éclectique piézo-électrique. Édition de vide de MS15.
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