pour des conditions de vide poussé jusqu'à 10^ (- 6) mbar
voyage de 10 millimètres dans la direction de x, de y et de z
empreinte de pas de 35 x 45 millimètres
Positionneurs miniatures de xyz avec la commande à inertie électrique piézo-électrique. Édition de vide du MX 35.
---