Four de recuit VF-5300HLP

à chambrehaute températurevertical

Un four vertical permettant un traitement à ultra-haute température, idéal pour la fabrication de dispositifs de puissance. Il prend en charge les plaquettes de 6 à 8 pouces et dispose d'un mécanisme de transfert automatique des plaquettes. Peut être utilisé pour la production de masse. Caractéristiques Prend en charge un maximum de 100 plaquettes par lot, et peut être utilisé sur des lignes de production de masse. Supporte une large gamme de tailles de plaquettes de 6 à 8 pouces. L'intérieur du four présente notre construction exclusive sans métal. Permet de surveiller la température à proximité des plaquettes. Un verrou de charge N2 est fourni en standard. Transport de cassette à cassette à haut débit Le recuit sous atmosphère H2 avec arrondissement des tranchées est disponible en option. Le VF-5300HLP est un four vertical qui peut traiter un maximum de 100 plaquettes par lot, et une large gamme de tailles de plaquettes allant de 6 à 8 pouces. Les caractéristiques du matériel et du système de contrôle, soigneusement sélectionnées, permettent une utilisation sur des lignes de production de masse. L'intérieur du four est doté de notre propre construction sans métal. Le VF-5300HLP prend en charge les processus de recuit d'activation à ultra-haute température.