Recuit acier RLA-3100-V

grandes séries

Permet le procédé de recuit de contact et de substrat de GaN. Soutient des gaufrettes de 6 pouces et permet l'activation et l'oxydation en atmosphères de la charge-serrure environments/N2 de vide (LP). Caractéristiques Température de fonctionnement maximum : 1,200°C Soutient un large éventail de tailles de gaufrette jusqu'à 6 pouces. Un mécanisme automatique de rechange de gaufrette fournit le transfert de cassette-à-cassette. L'appui de vide améliore des caractéristiques de recuit. L'appui de charge-serrure de N2 permet le temps de rotation rapide. Substrats de GaN de processus de boîte.