Vanne à membrane LD

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Présentation
La vanne à diaphragme Jewellok LD SERIES en inox 316L VIM‑VAR pour ultrahaute pureté assure l'isolement des fluides dans les réseaux de distribution de gaz pour semi‑conducteurs. Conçue pour l'utilisation en salle blanche, elle commande des gaz spéciaux, dangereux ou corrosifs dans les boîtes de collecteurs de vannes, armoires à gaz et connexions point‑d'utilisation nécessitant l'absence totale de contamination.

Ingénierie technique principale

• Métallurgie VIM VAR : Inox 316L obtenu par double fusion sous vide et forgeage pour réduire les inclusions non métalliques, améliorer la résistance à la corrosion et limiter le risque d'embrittlement hydrogène.
• Chemins mouillés électropolishés : Les conduits internes sont électropolishés pour une finition ultra‑lisse (< 5 μin Ra) afin de limiter la rétention de particules et faciliter le purgage.
• Étanchéité hermétique par diaphragme : Joint diaphragme métal‑métal en alliages à haute endurance, évitant les élastomères souples ; débit de fuite hélium < 1×10-9 atm·cc/s (spectrométrie).
• Volume mort nul : Architecture interne optimisée pour prévenir les fuites virtuelles et la stagnation des fluides, protégeant les procédés wafer sous‑micron des impuretés résiduelles.

Procédures d'installation et sécurité
Vannes conditionnées en double sachet pour manipulation en salle blanche. Installer uniquement en environnement certifié. Positionner selon la flèche de débit et connecter avec raccords VCR à joint facial métallique. Effectuer un test d'étanchéité à l'hélium et un cycle de purge à l'azote avant l'introduction de médias toxiques ou pyrophoriques. Prévoir des inspections périodiques pour vérifier le bon fonctionnement des actionnements pneumatiques ou manuels.

LD SERIES — Vanne à diaphragme manuelle basse pression
Caractéristiques

• Corps : Inox 316L VIM‑VAR adapté aux applications ultrahaute pureté ; rugosité superficielle mouillée < 5 μin Ra ; conception réduisant les zones d'enfermement, facilitant le purgage et maximisant la capacité d'écoulement.

Diaphragme

• Hastelloy C‑22 ou superalliages à base de cobalt (UNS R30003) pour résistance mécanique et chimique élevée, optimisés pour une longue durée de vie en cycles.

Siège

• Siège PCTFE entièrement contenu résistant au gonflement et à la contamination, réduisant la génération de particules et améliorant les performances d'étanchéité à l'hélium ; assemblé et emballé selon des procédures de propreté strictes.
• Chaque produit est testé à l'hélium avant expédition.

Données techniques
Plans de dimensions et schémas de canaux d'écoulement fournis à titre de référence (dimensions en millimètres ; susceptibles de modification).

Géométrie du canal d'écoulement
Géométrie optimisée pour réduire les volumes morts et améliorer l'efficacité de purge.

Informations de commande
Spécifications de commande standard et configurations de modèle disponibles ; se référer aux tableaux de commande ou à la documentation produit pour les options.

Caractéristiques techniques

• Brand: Jewellok
• Series / Model: LD SERIES
• Body material: 316L VIM‑VAR stainless steel (double vacuum melted)
• Wetted path finish: Electropolished, surface roughness under 5 micro inches Ra
• Diaphragm materials: Hastelloy C‑22 or cobalt‑based superalloys (UNS R30003)
• Seat material: Fully contained PCTFE
• Sealing: Metal‑to‑metal hermetic diaphragm (no soft elastomers)
• Helium leak rate: < 1×10-9 atm·cc/s (helium mass spectrometer test)
• Design: Zero dead volume, optimized internal architecture to prevent virtual leaks
• Packaging: Double‑bagged for cleanroom handling
• Applications: Semiconductor gas distribution systems, valve manifold boxes, gas cabinets, point‑of‑use tool hookups