Vanne à membrane HD

pneumatiqueà régulation de débitd'isolement

Vanne à diaphragme pneumatique HD Series — acier inoxydable 316L, haute pureté, haute pression pour gaz spéciaux de laboratoire

Application et objectif
La vanne à diaphragme pneumatique HD Series assure le contrôle automatisé du débit et l'isolement dans les installations de gaz de laboratoire à haute pureté. Conçue pour les environnements semi-conducteurs, analytiques et de recherche, elle gère des gaz spéciaux haute pression (inflammables, toxiques, inertes) et s'intègre aux boucles de sécurité pour un fonctionnement à distance et répétable.

Caractéristiques techniques principales

• Métallurgie haute pression : corps en acier inoxydable 316L VIM-VAR, capacité jusqu'à 3 000 psig selon configuration.
• Finition haute pureté : chemins mouillés usinés pour atteindre Ra 10 μin ou moins (typiquement Ra jusqu'à 5 μin) pour minimiser la génération de particules et l'enfermement d'humidité.
• Joints hermétiques : diaphragme métal-sur-métal éliminant les joints élastomères, étanchéité hélium inférieure à 1×10-9 atm cc/sec.
• Automatisation pneumatique : disponible en NF (Normally Closed) ou NO (Normally Open) avec actionneur pneumatique utilisant de l'air instrument pour des cycles rapides et sans étincelle.

Consignes d'installation et de sécurité
Manipuler et installer en environnement propre. Utiliser les connexions VCR face-seal ou soudure bout à bout avec joints neufs. Fournir de l'air instrument propre et sec à la pression pilote spécifiée. Effectuer un test d'étanchéité à l'hélium et une purge à l'azote sec avant l'introduction des gaz actifs.

HD SERIES
VANNE À DIAPHRAGME PNEUMATIQUE HAUTE PRESSION

Fonctionnalités
Corps

• Corps en acier inoxydable 316L VIM-VAR pour applications ultra-haute pureté.
• Finition interne possible jusqu'à Ra 5 μin; circuit d'écoulement entièrement nettoyable.
• Zones d'enfermement minimisées pour faciliter la purge et maximiser la capacité d'écoulement.

Diaphragme

• Options Hastelloy C-22 ou superalliage à base de cobalt (UNS R30003) pour résistance mécanique et corrosion.
• Géométrie optimisée pour une longue durée de vie en cycle.

Siège

• Siège PCTFE entièrement contenu résistant au gonflement et à la contamination, améliore la performance d'étanchéité à l'hélium et réduit la génération de particules.
• Assemblage et emballage haute propreté conformes aux exigences du secteur des semi-conducteurs.
• Chaque unité est testée à l'hélium avant expédition.

Données techniques
Les dimensions en millimètres fournies sont indicatives et peuvent varier selon la configuration.

Informations de commande
Les options standards incluent actionneurs pneumatiques NF/NO, raccords VCR face-seal ou soudure bout à bout, et sélections de matériaux pour diaphragme/siège. Voir les tableaux de commande sur la fiche produit.

Spécifications techniques

• Matériau du corps : acier inoxydable 316L (VIM-VAR)
• Pression de service maximale : jusqu'à 3 000 psig (se référer aux tableaux produits pour configurations spécifiques)
• Finition interne : jusqu'à Ra 5 μin (typiquement Ra ≤ 10 μin pour les chemins mouillés)
• Étanchéité : débit de fuite hélium < 1×10-9 atm cc/sec (diaphragme métal-sur-métal)
• Matériaux du diaphragme : Hastelloy C-22 ou superalliage à base de cobalt (UNS R30003)
• Matériau du siège : PCTFE entièrement contenu
• Actionnement : actionneur pneumatique; disponible NC (Normally Closed) ou NO (Normally Open)
• Raccords : VCR face-seal intégré ou soudure bout à bout
• Propreté : assemblage et emballage haute propreté; test à l'hélium effectué sur chaque unité
• Applications : gaz spéciaux de laboratoire, systèmes de gaz analytiques et pour semi-conducteurs, chromatographie en phase gazeuse, instituts de recherche