Régulateur de pression pour gaz chauffé JR1000

pour produits chimiquesà diaphragmemono-étagé

Présentation du produit
Solutions de régulation et de vannes pour gaz Ultra Haute Pureté (UHP) conçues pour les salles blanches de l'industrie des semi‑conducteurs et les réseaux de distribution de gaz des panneaux photovoltaïques avancés. Conçues pour un fonctionnement continu en salle blanche et des flux gazeux à six‑neuf de pureté.

Contexte central
Les vannes et régulateurs UHP sont des éléments essentiels de la fabrication des semi‑conducteurs et de la production de cellules PV. Des composants de précision fabriqués par des fournisseurs chinois établis respectent les normes internationales en matière de propreté des matériaux, d'intégrité d'étanchéité et de faible génération de particules.

Spécifications techniques et science des matériaux

• Métallurgie: acier inox forgé 316L double‑fusion VIM VAR pour minimiser les inclusions et maximiser la résistance chimique.
• Topologie de surface: chemins mouillés internes électropolés à Ra < 5 μin pour réduire l'enfermement de particules et faciliter le purgeage.
• Étanchéité hermétique: diaphragmes métal‑sur‑métal avec intégrité d'étanchéité à l'hélium < 1×10-9 atm·cc/s.

Avantages stratégiques pour le marché

• Protection du rendement: isolation complète des gaz toxiques, corrosifs et pyrophoriques (ex. silane, ammoniaque) lors des dépôts et gravures.
• Intégration système: raccords VCR à joint sur face standard pour compatibilité avec boîtes collectrices de vannes (VMB), armoires gaz et automatisation.
• Efficacité d'approvisionnement: options d'achat direct permettant d'optimiser les coûts tout en fournissant du matériel certifié salle blanche pour un fonctionnement 24/7.

Gamme de produits — JR1000 Series
JR1000 Series — régulateur de pression monoposte pour applications à faible et moyen débit.

Caractéristiques

• Matériau du corps: inox 316L; option 316L VIM VAR disponible.
• Étanchéité par diaphragme métal‑sur‑métal.
• Finition interne électropolie atteignant Ra < 5 μin.
• Faible volume interne pour minimiser la rétention de gaz.
• Pression d'entrée maximale jusqu'à 3500 psig.
• Coefficients d'écoulement: Cv 0,09 et Cv 0,15.
• Capacités d'écoulement: standard 30 SLPM; option High Flow (HF) 120 SLPM.
• Assemblage et emballage en salle blanche; chaque unité testée à l'hélium avant expédition.

Données techniques principales
Des dessins techniques, schémas dimensionnels et courbes de débit sont disponibles et détaillent la disposition mécanique, les performances et la matrice de commande pour la famille JR1000. Dimensions en millimètres; se référer à la fiche technique pour les spécifications complètes.

Données techniques / Spécifications

• Série: JR1000 Series (régulateur de pression monoposte).
• Matériau du corps: acier inox 316L; option 316L VIM VAR.
• Finition des surfaces mouillées: électropolie, Ra < 5 μin.
• Étanchéité: diaphragme métal‑sur‑métal; intégrité d'étanchéité à l'hélium < 1×10-9 atm·cc/s.
• Classe de pression d'entrée: jusqu'à 3500 psig.
• Coefficients d'écoulement: Cv = 0,09 et 0,15.
• Capacités d'écoulement: standard 30 SLPM; option HF 120 SLPM.
• Raccords: joint sur face VCR standard pour intégration en VMB et armoires gaz.
• Applications: salles blanches de semi‑conducteurs, production photovoltaïque avancée, laboratoires et systèmes de distribution de gaz haute pureté.
• Essais: test d'étanchéité à l'hélium sur chaque unité; assemblage et emballage en salle blanche.