IntroductionLa série DPR1 est un régulateur de pression de cylindre compact bi-étage haute pureté conçu pour des débits faibles de gaz toxiques, inflammables et pyrophoriques dans les procédés semi-conducteurs et industriels avancés. Les membranes métalliques liées et convolutées et l'étanchéité métal-sur-métal entre membrane et corps préservent l'intégrité du gaz et minimisent la diffusion.
Caractéristiques- Pression d'entrée maximale : 3000 psig / 207 bar
- Plages de pression de sortie : 0–25 psig, 0–50 psig, 0–100 psig, 0–150 psig (0–1,7 bar, 0–3,4 bar, 0–6,9 bar, 0–10,3 bar)
- Pression d'épreuve de conception : 150 % de la valeur nominale maximale
- Fuite : interne — étanche aux bulles ; externe — conçu pour respecter < 2 x 10-8 atm cc/sec He
- Température de fonctionnement : -40°F à 140°F / -40°C à 60°C
- Capacité d'écoulement : Cv = 0,05
- Couple maximal de fonctionnement : 30 in‑lb / 3,4 N·m
- Caractéristique de décroissance d'entrée : variation 0,06 / 100 psig (0,004 / 6,9 bar)
Avantages- Membranes liées et convolutées pour une plus grande sensibilité et précision de contrôle
- Joint métal-sur-métal membrane/corps pour minimiser la diffusion
- Conception d'étanchéité positive avec orifices de capot capturés pour renforcer l'intégrité
- Liaison membrane‑vanne améliorant la fiabilité de l'étanchéité du siège
- Stabilité de la pression de sortie malgré les variations d'entrée (faible caractéristique de décroissance)
Options supplémentaires- Plages de sortie optionnelles : 0–25 psi, 0–50 psi, 0–100 psi, 0–150 psi
Caractéristiques techniques- Modèle / Série : DPR1 series
- Pression d'entrée maximale : 3000 psig / 207 bar
- Plages de pression de sortie : 0–25 psig (0–1,7 bar), 0–50 psig (0–3,4 bar), 0–100 psig (0–6,9 bar), 0–150 psig (0–10,3 bar)
- Pression d'épreuve de conception : 150 % de la pression nominale maximale
- Fuite : interne — étanche aux bulles ; externe — conçu pour respecter < 2 x 10-8 atm cc/sec He
- Plage de température de fonctionnement : -40°F à 140°F / -40°C à 60°C
- Capacité d'écoulement (Cv) : 0,05
- Couple maximal de fonctionnement : 30 in‑lb / 3,4 N·m
- Caractéristique de décroissance d'entrée : variation 0,06 / 100 psig (0,004 / 6,9 bar)