Régulateur de pression de gaz DPR1

à diaphragmebi-étagéen métal

Introduction
La série DPR1 est un régulateur de pression de cylindre compact bi-étage haute pureté conçu pour des débits faibles de gaz toxiques, inflammables et pyrophoriques dans les procédés semi-conducteurs et industriels avancés. Les membranes métalliques liées et convolutées et l'étanchéité métal-sur-métal entre membrane et corps préservent l'intégrité du gaz et minimisent la diffusion.

Caractéristiques

• Pression d'entrée maximale : 3000 psig / 207 bar
• Plages de pression de sortie : 0–25 psig, 0–50 psig, 0–100 psig, 0–150 psig (0–1,7 bar, 0–3,4 bar, 0–6,9 bar, 0–10,3 bar)
• Pression d'épreuve de conception : 150 % de la valeur nominale maximale
• Fuite : interne — étanche aux bulles ; externe — conçu pour respecter < 2 x 10-8 atm cc/sec He
• Température de fonctionnement : -40°F à 140°F / -40°C à 60°C
• Capacité d'écoulement : Cv = 0,05
• Couple maximal de fonctionnement : 30 in‑lb / 3,4 N·m
• Caractéristique de décroissance d'entrée : variation 0,06 / 100 psig (0,004 / 6,9 bar)

Avantages

• Membranes liées et convolutées pour une plus grande sensibilité et précision de contrôle
• Joint métal-sur-métal membrane/corps pour minimiser la diffusion
• Conception d'étanchéité positive avec orifices de capot capturés pour renforcer l'intégrité
• Liaison membrane‑vanne améliorant la fiabilité de l'étanchéité du siège
• Stabilité de la pression de sortie malgré les variations d'entrée (faible caractéristique de décroissance)

Options supplémentaires

• Plages de sortie optionnelles : 0–25 psi, 0–50 psi, 0–100 psi, 0–150 psi

Caractéristiques techniques

• Modèle / Série : DPR1 series
• Pression d'entrée maximale : 3000 psig / 207 bar
• Plages de pression de sortie : 0–25 psig (0–1,7 bar), 0–50 psig (0–3,4 bar), 0–100 psig (0–6,9 bar), 0–150 psig (0–10,3 bar)
• Pression d'épreuve de conception : 150 % de la pression nominale maximale
• Fuite : interne — étanche aux bulles ; externe — conçu pour respecter < 2 x 10-8 atm cc/sec He
• Plage de température de fonctionnement : -40°F à 140°F / -40°C à 60°C
• Capacité d'écoulement (Cv) : 0,05
• Couple maximal de fonctionnement : 30 in‑lb / 3,4 N·m
• Caractéristique de décroissance d'entrée : variation 0,06 / 100 psig (0,004 / 6,9 bar)