Microscope électronique NE4000

pour analyseà émission de champ froidCCD

Le Hitachi NE4000 nanoEBAC est un système de sondage par faisceau d'électrons pour la caractérisation électrique, l'analyse EBAC et l'imagerie des interconnexions, des matériaux et des composants des dispositifs microélectroniques. La technique du courant absorbé par faisceau d'électrons (EBAC) offre une méthode rapide et efficace pour identifier les circuits ouverts, les résistances élevées et les courts-circuits le long des interconnexions sans recourir à des techniques de sondage directes des couches de niveau inférieur. La technique EBAC est réalisée à l'aide d'un faisceau d'électrons qui traverse les couches diélectriques jusqu'à la couche de métallisation de niveau inférieur afin d'absorber le courant du faisceau d'électrons. La tension d'accélération du faisceau d'électrons du FESEM contrôle la profondeur de sondage ou le niveau de pénétration dans les couches diélectriques. Une seule sonde est placée sur la couche de métallisation supérieure exposée pour compléter le circuit et permettre aux électrons de circuler dans l'interconnexion. L'observation des résistances élevées et des courts-circuits dus à l'effet Seebeck est possible en utilisant des sondes doubles avec les amplificateurs différentiels EBAC brevetés d'Hitachi. Conception conviviale - Interface utilisateur graphique (GUI) intuitive avec diverses fonctions de traitement des images et des couleurs. - Le positionnement précis des sondes est réalisé par un système de caméra CCD intégré dans la chambre. Qualité d'image supérieure - Fournit des images EBAC de haute qualité grâce aux amplificateurs EBAC haute performance brevetés d'Hitachi.