Système de mesure pour wafer SiPh

microscope

L'assistant autonome de mesure de la photonique du silicium de FormFactor établit la norme de l'industrie en matière de sondage de la photonique du silicium au niveau des plaquettes et des puces. Cette solution très flexible offre une multitude de technologies de test, des fibres uniques aux réseaux et du couplage vertical au couplage de bord. Avec le nouveau système révolutionnaire OptoVue pour les étalonnages avancés, les algorithmes intelligents de vision artificielle et le TopHat exclusif de SiPh pour les environnements sombres, protégés et hors gel, le système permet un étalonnage et un réétalonnage autonomes et mains libres à plusieurs températures. Cela permet d'obtenir plus rapidement des mesures plus précises et de réduire le coût des tests. L'utilisation de fibres optiques simples et de réseaux de fibres comme sondes pour coupler la lumière à l'intérieur et à l'extérieur d'une tranche de silicium pour le couplage de surface et de bord crée de nombreux défis que FormFactor gère grâce à sa technologie Contact Intelligence. Contrairement aux tests électriques, les tests optiques utilisent des fibres et des réseaux de fibres qui n'entrent pas en contact avec leurs " tampons " correspondants, connus sous le nom de coupleurs de réseau ou de facettes, respectivement sur la surface et le bord de la tranche. Au lieu de cela, les fibres doivent être articulées par rapport aux coupleurs et aux facettes pour trouver la position de transfert de puissance optique maximale. Le réglage de la position initiale des pointes de la fibre ou du réseau par rapport aux réseaux et aux facettes, puis l'optimisation de leur position, sont réalisés grâce à des techniques automatisées uniques développées par les ingénieurs de FormFactor. En utilisant un traitement d'image avancé et des algorithmes spécialement développés, le réglage de la hauteur Z, l'écart entre la fibre et la facette, ainsi qu'une suite de calibrations automatisées de la solution de positionnement à la station de la sonde sont disponibles.