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... tranches moyennes et les entreprises d'emballage et de test en aval dans la chaîne de l'industrie des semi-conducteurs, un système de détection parallèle à plusieurs canaux en champ clair et en champ sombre, développé indépendamment, ...
... X-Y : 0,1 µm
Fonctions d'inspection et de métrologie
Wafers patternés : résidus, fissures, rayures, particules, anomalies de pad, décoloration, contamination, pelage, marques de sonde, mesure CD
Wafers ...
TRI Test Research Europe GmbH
... RF et les MEMS. Les systèmes de la série 8 prennent également en charge le contrôle qualité lors de la production de lentilles AR/VR et de la fabrication de disques durs. Applications Contrôle de processus, ...
KLA Corporation
... Description
- Inspection optique automatisée (AOI) pour substrats IC avec résolution minimum ligne/espace jusqu'à 4 µm.
- Galaxy 4Cχ est la génération la plus récente des systèmes AOI de CIMS, équipé
CIMS
... résolution 20 MP (composant système)
... informations fournies par le
système d'
inspection de
wafers.
Utilisation
Gestion des défauts dans le processus de fabrication de dispositifs semiconducteurs / dispositifs CMOS.
Description ...
... Grâce à sa technologie de conception optique unique, le système Imperia détecte et classifie les défauts nuisibles au rendement, avec l'avantage supplémentaire d'un contrôle simultané de la production par photoluminescence ...
Onto Innovation Inc.
... Le système GWI a été conçu pour détecter les défauts des plaquettes de verre au début du cycle de production. Le système est basé sur une caméra intelligente à haute résolution pour répondre à la précision ...
... du type P/N, des trous, etc. Le pionnier des systèmes de tri de plaquettes sur le marché national Grâce à ses excellentes performances d’ inspection et à son automatisation fiable, ce système d’ inspection ...
... L'outil d' inspection optique MicroProf DI de FRT permet d'inspecter des wafers structurés et non structurés pendant tout le processus de fabrication. En combinant l' inspection 2D et la métrologie, le ...
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