Four d'oxydation VF-3000

à tapisde type armoiresous atmosphère contrôlée

Ce four vertical à bas prix équipé d'un convoyeur automatique peut être utilisé pour une gamme de fonctions allant de la R&D à la production de masse de plaquettes de 4 à 8 pouces. Nous avons atteint un prix si bas que les utilisateurs finaux peuvent introduire ce four. Le traitement à ultra-haute température est disponible et convient mieux à la fabrication de dispositifs de puissance. Caractéristiques Équipement à faible coût pour les utilisateurs finaux Le traitement de 50 à 75 plaquettes par mini-lots est disponible de la R&D à la ligne de production de masse taille des plaquettes de 4 à 8 pouces disponible Stockage de 4 cassettes maximum Excellente régulation de la température, de basse à moyenne, grâce à un chauffage LGO Transfert des plaquettes à grande vitesse à l'aide d'un seul robot de manipulation des plaquettes Equipé d'un système de contrôle simple à fonction limitée Ce four peut être utilisé pour une large gamme de tailles de gaufrettes de 4 à 8 pouces, et le traitement de 50 à 75 gaufrettes en mini-lots peut être choisi. Avec le matériel et le contenu du système de contrôle soigneusement sélectionnés pour obtenir un prix bas, ce four vertical peut être utilisé pour une large gamme de fonctions allant de la R&D aux lignes de production de masse. Choisissez et utilisez un élément chauffant approprié parmi un élément chauffant LGO, un élément chauffant en disiliciure de molybdène (MoSi2) et un élément chauffant en carbone, non seulement pour le recuit à basse température, le nitrure (Si3N4), le polysilicium (poly Si) et d'autres matériaux LPCVD, l'oxydation et la diffusion, mais aussi pour l'oxynitruration du silicium de la porte des dispositifs de puissance en SiC, le recuit d'activation et d'autres processus de traitement à ultra-haute température.