Systèmes d'inspection automatiques KLA

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système d'inspection à faisceau
système d'inspection à faisceau
eSL10™

... Le système d'inspection des défauts de plaquettes à motifs eSL10™ exploite l'énergie d'atterrissage la plus élevée et la haute résolution de l'industrie pour capturer les petits défauts physiques et les ...

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système d'inspection optique
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Teron™ SL600

... Requalification des réticules, contrôle de la qualité des réticules entrants Inspection des réticules EUV et optiques (en option) pendant la fabrication de puces pour les technologies IC à nœud de conception 7nm/5nm. Le ...

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système d'inspection optique
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FlashScan®

... optique et EUV. Le système FlashScan 211 associe sa haute sensibilité à une vitesse d'inspection inégalée et à une disposition automatique des défauts, réduisant ainsi le temps nécessaire à l'obtention ...

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système d'inspection 3D
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Kronos™ 1190XR

... surveillance de processus, surveillance d'outils, contrôle de qualité sortant (OQC) La technologie d'inspection Kronos est également disponible en tant que module sur l'outil CIRCL-AP d'inspection ...

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système d'inspection optique
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CIRCL™-AP

... hybride et d'autres flux de processus d'emballage. Le dernier système CIRCL-AP prend en charge une plus large gamme d'épaisseurs de plaquettes pour le module d'inspection ...

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système d'inspection optique
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ICOS™ T890

... sensibilité avec des mesures 2 D et 3 D pour déterminer la qualité de l'emballage final pour une large gamme de types et de tailles d'appareils. L'ICOS T890 offre un fonctionnement en parallèle de quatre ...

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