Système d'inspection optique FlashScan®

automatiquepour détection de défautspour l'industrie de l'électronique

Le système d'inspection des défauts des couvertures de masque FlashScan® 211 aide les ateliers de fabrication de masques et les fabricants de couvertures à répondre aux exigences en matière de défauts des couvertures de masque pour les applications de lithographie optique et EUV. Le système FlashScan 211 associe sa haute sensibilité à une vitesse d'inspection inégalée et à une disposition automatique des défauts, réduisant ainsi le temps nécessaire à l'obtention de résultats pour une large gamme d'applications. Applications Fabrication de masques vierges, qualification de masques vierges, contrôle du processus de réticulation, surveillance de l'équipement du processus de réticulation