Sonde d'oxygène

pour l'électroniquede mesureà membrane

Informations générales
La sonde vacuum ZIROX utilise une cellule électrolytique solide en zircone (ZrO2) en mode potentiométrique comme élément de mesure. Une tension entre électrode de mesure et électrode de référence, proportionnelle au logarithme du rapport des pressions partielles d'oxygène, est générée et peut être convertie en pression partielle d'oxygène via l'équation de Nernst. Le corps de raccordement intègre la commande du chauffage, l'électronique de traitement du signal et une pompe à membrane interne pour l'alimentation en gaz de référence.

Applications
La sonde sert à la détermination des pressions partielles d'oxygène dans des équipements basse pression. Usages typiques : procédés sous vide tels que PVD, pulvérisation magnétron et autres procédés plasma ou de traitement de surface, ainsi que pour des investigations en science des matériaux.

Remarque calibration
Contrairement aux sondes ZIROX destinées à l'atmosphère, la sonde pour vide n'est pas exempte de calibration en raison de la position interne du chauffage et des conditions thermiques dépendantes de la pression au niveau de l'électrode de mesure (les électrodes isothermes ne peuvent être garanties). Pour le contrôle de procédé, une calibration empirique suffit souvent ; pour des mesures précises, l'utilisateur doit effectuer des calibrations d'essai.

Données techniques — Sonde pour vide

• Longueur d'insertion : 140...300 mm
• Diamètre : 6 mm (16 mm avec tube de protection)
• Masse : 1,5 kg
• Dimensions du corps de raccordement : 150 x 63 x 35 mm
• Indice de protection : IP54
• Bride : KF40 (autres brides sur demande)
• Température maximale au niveau de la bride : 60 °C
• Alimentation : 24 V DC ± 10 %
• Consommation : 1,2 A
• Puissance de chauffage : 30 W
• Plage de pression : 1,5 x 10^5 ... 1 x 10^-5 Pa
• Plage de tension capteur : 0...400 mV ou 0...1200 mV (commutable sur carte)
• Plage de pression partielle d'oxygène : 1 x 10^5 ... 1 x 10^-21 Pa
• Signal de sortie : 0–20 mA
• Précision : < 5 % d'erreur relative (usage process)
• Température de fonctionnement du capteur : 700 °C (régulée électroniquement)
• Offset (avec manchon de protection) : -15...-20 mV
• Taux de fuite He : < 10^-8 mbar·L/s
• Vitesse maximale du flux de gaz : 10 m/s
• Gaz de référence : air ambiant
• Débit gaz de référence (pompe interne) : env. 5...10 L/h

Borne/connexion
Type de connecteur : Type 423, 6 pôles, Binder (Réf. : 99-5622-15-06)

• 1 : +24 V
• 2 : GND
• 3 : + Iout (20 mA correspond à 400 ou 1200 mV selon réglage)
• 4 : - Iout
• 5 : Contact Ready (potentiel libre) — 60 V/1 A DC ou 125 V/1 A AC
• 6 : (sans affectation)