Disque en céramique 69299-00001-9068

de carbure de siliciumhaute température

Description courte
Ces disques céramiques poreux en SiC sont conçus pour l'adsorption sous vide de précision et les applications à coussin d'air dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs et industriels avancés. Fabriqués en carbure de silicium, ils présentent une dureté élevée, une conductivité thermique adaptée et une résistance chimique, assurant une force de maintien sous vide stable et une distribution uniforme du flux d'air. Les disques permettent une manutention sans contact et à faible risque d'endommagement des plaquettes, panneaux et substrats fins, adaptés aux environnements de production haute température et haute précision.

Spécifications produit (récapitulatif)
Formule : SiC
Forme : Disque
Matériau : Céramique poreuse en carbure de silicium
Numéro CAS : 409-21-2
Produit : Disque céramique poreux

Spécifications / Tolérances (disque)
Épaisseur : 2 mm (tolérance ±0,1 mm)
Diamètre extérieur : 80 mm (tolérance ±0,1 mm)

Propriétés physiques
Densité : 2,0 - 2,2 g/cm³

Propriétés mécaniques
Dureté (HRA) : ≥ 40,00

Applications typiques

• Systèmes de mors sous vide pour semi-conducteurs (meulage de plaquettes, découpe de plaquettes, mors d'impression sous vide)
• Nettoyage de mors sous vide
• Mors de transfert et de manutention sous vide
• Plateformes de coussin d'air et paliers d'air de précision
• Fabrication de panneaux LCD et OLED
• Traitement microélectronique des semi-conducteurs
• Manutention de verres et panneaux pour téléphones mobiles
• Traitement de couches minces
• Plateformes de traitement laser
• Systèmes d'impression et de revêtement
• Industrie photovoltaïque et production de cellules solaires

Caractéristiques principales

• Structure poreuse uniforme et stable
• Performance d'adsorption sous vide fiable
• Distribution uniforme du flux d'air pour les applications à coussin d'air
• Adapté à la manutention sans contact et à faible dommage
• Grande précision dimensionnelle et cohérence
• Conçu pour les environnements de fabrication en salle blanche

Spécifications et variantes

• Plusieurs diamètres et épaisseurs disponibles
• Différentes structures de pores pour répondre aux exigences de charge et de procédé
• Distribution de pores constante selon les spécifications

Caractéristiques techniques / Spécifications

• Formule : SiC
• Forme : Disque
• Matériau : Céramique poreuse en carbure de silicium
• Numéro CAS : 409-21-2
• Produit : Disque céramique poreux
• Épaisseur du disque : 2 mm (tolérance ±0,1 mm)
• Diamètre extérieur : 80 mm (tolérance ±0,1 mm)
• Densité : 2,0 - 2,2 g/cm³
• Dureté (HRA) : ≥ 40,00
• Tailles de pores disponibles : ex. 15 μm et 30 μm
• Emballage : 1 pièce par unité